Concept information
Preferred term
dépôt chimique en phase vapeur
Entry terms
- CVD (méthode)
- dépôt par voie gazeuse
- OMCVD (méthode)
Belongs to group
In other languages
-
English
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/37T-ZMFM9V2G-Z
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