Concept information
Terme préférentiel
dépôt chimique en phase vapeur
Synonyme(s)
- CVD (méthode)
- dépôt par voie gazeuse
- OMCVD (méthode)
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/37T-ZMFM9V2G-Z
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