Concept information
Terme préférentiel
litografía por haz de electrónes
Synonyme(s)
- litografía por haz electrónico
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
français
-
lithographie par faisceau électronique
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/BJW-SDP20NQJ-C
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