Concept information
Terme préférentiel
Fotolithographie
Concept générique
Concepts spécifiques
Synonyme(s)
- Photolithographie
Traductions
-
anglais
-
optical lithography
-
photolithographic process
-
espagnol
-
litografía óptica
-
français
-
lithographie optique
-
masquage optique
-
masquage photographique
-
photomasquage
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-LJL82CDG-L
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