Concept information
Terme préférentiel
lithographie par faisceau d'électrons
Concept générique
Synonyme(s)
- lithographie électronique
- lithographie par faisceau électronique
Traductions
-
allemand
-
anglais
-
e-beam lithography
-
espagnol
-
litografía por e-beam
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
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