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Physique de l'état condensé

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Concept information

Término preferido

dépôt chimique en phase vapeur  

Definición

  • Méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux. (d'après wikipédia)

Etiquetas alternativas

  • CVD

Pertenece al grupo

En otras lenguas

URI

http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-PSF4909T-D

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