Concept information
Terme préférentiel
lithographie par faisceau d'électrons
Synonyme(s)
- lithographie par faisceau électronique
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
espagnol
-
litografía por haz electrónico
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-M1BHXL9M-4
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