Concept information
Preferred term
Dépôt chimique phase vapeur
Entry terms
- CVD
- CVD(méthode)
- Dépôt voie gazeuse
- OMCVD
- OMCVD(méthode)
In other languages
-
English
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/QJP-RGTPDJ72-C
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