Concept information
Terme préférentiel
Photolithographie
Synonyme(s)
- Lithographie optique
- Masquage optique
- Photomasquage
Traductions
-
anglais
-
Optical lithography
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/QJP-CRJSN5D0-T
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}