Concept information
Terme préférentiel
Dépôt chimique phase vapeur
Synonyme(s)
- CVD
- CVD(méthode)
- Dépôt voie gazeuse
- OMCVD
- OMCVD(méthode)
Traductions
-
anglais
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/QJP-RGTPDJ72-C
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