Concept information
Preferred term
technologie silicium-sur-isolant
Definition
- Technologie de fabrication microélectronique qui consiste à intercaler une mince couche isolante entre une couche mince de silicium et le substrat, également en silicium [Source : INIST]
Entry terms
- technologie silicium sur isolant
- technologie SOI
Belongs to group
In other languages
-
English
-
SOI technology
-
Spanish
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-QQFD1X8B-D
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