Concept information
Preferred term
dispositif micro-électromécanique
Definition
- Dispositif qui combine des fonctions électroniques et mécaniques sur un support obtenu par des techniques dérivées de celles utilisées pour la fabrication des circuits intégrés [Source : sagascience]
Entry terms
- dispositif microélectromécanique
- microsystème électromécanique
Belongs to group
In other languages
-
English
-
microelectromechanical device
-
Spanish
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-SJRGH86B-6
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