Concept information
Término preferido
litografía por haz de electrónes
Concepto genérico
Pertenece al grupo
- Design (en)
En otras lenguas
-
francés
-
lithographie par faisceau électronique
-
masquage électronique
-
inglés
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-P1KD9GNK-K
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