Concept information
Terme préférentiel
lithographie par faisceau d'ions
Synonyme(s)
- lithographie faisceau ionique
- lithographie par faisceau ionique
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
espagnol
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-LLR0SPBN-Z
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