Concept information
Terme préférentiel
lithographie par faisceau d'électrons
Concept générique
Synonyme(s)
- lithographie par faisceau électronique
- masquage électronique
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
espagnol
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-P1KD9GNK-K
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