Concept information
Terme préférentiel
dispositif micro-opto-électromécanique
Définition
- Dispositif qui combine des fonctions électroniques, optiques et mécaniques sur un support obtenu par des techniques dérivées de celles utilisées pour la fabrication des circuits intégrés [Source : INIST]
Synonyme(s)
- dispositif microoptoélectromécanique
- microsystème opto-électromécanique
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
microoptoelectromechanical device
-
espagnol
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-RZWJNFP8-H
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